[发明专利]一种基于飞秒激光烧蚀复合诱导制备标印的方法有效
| 申请号： | 201910145773.1 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109702354B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王文君;孙小云;梅雪松;赵文振;潘爱飞;崔健磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362 |
| 代理公司： | 61215 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于飞秒激光烧蚀复合诱导制备标印的方法，采用钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片作为加工对象，搭建光路，飞秒激光器输出光经过二轴扫描振镜系统聚焦到剪式升降台上，飞秒激光器和二轴扫描振镜系统和电脑连接；利用电脑调节飞秒激光器输出激光，激光波长为1030nm，脉宽为240fs，重复频率为1‑200kHz可调，最大单脉冲能量为200μJ；将钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片固定在剪式升降台加工工位上，通过调节重复频率、单脉冲能量、扫描速度和槽间距，获得最优的激光烧蚀的初级标印基本参数和激光诱导的再次标印基本参数；本发明提高了飞秒激光标印的质量、效率和识别率，并且对钛合金和镍基合金都具有适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 标印 飞秒激光器 飞秒激光 镍基合金 钛合金 扫描振镜系统 复合诱导 基本参数 重复频率 二轴 烧蚀 制备 最大单脉冲能量 单脉冲能量 剪式升降台 电脑连接 激光波长 激光烧蚀 激光诱导 加工对象 加工工位 剪式升降 输出激光 识别率 输出光 光路 可调 脉宽 聚焦 扫描 电脑 | ||
【主权项】：
1.一种基于飞秒激光烧蚀复合诱导制备标印的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)采用钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片作为加工对象；/n2)搭建光路，飞秒激光器(1)输出光经过二轴扫描振镜系统(2)聚焦到剪式升降台(3)上，所述的飞秒激光器(1)、二轴扫描振镜系统(2)和电脑连接；/n3)利用电脑调节飞秒激光器(1)输出激光，激光波长为1030nm，脉宽为240fs，重复频率为1-200kHz可调，最大单脉冲能量为200μJ；/n4)将钛合金TC4或镍基合金GH4169金属片固定在剪式升降台(3)加工工位上，通过激光扫槽方式制备标印单元，调节激光重复频率、单脉冲能量、扫描速度和槽间距，获得激光烧蚀的初级标印的最优基本参数：重复频率50kHz，单脉冲能量150μJ，扫描速度60-80mm/s，槽间距10-15μm；/n5)在初级标印的基础上采取再次激光诱导抗反射微纳米结构的方式，调节激光功率、扫描速度和槽间距，获得最优的激光诱导标印的基本参数：激光功率650-850mW；扫描速度30-50mm/s；槽间距：5-10μm。/n
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