[发明专利]扫描探针显微镜以及表面图像校正方法有效
| 申请号： | 201910146459.5 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110244085B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种扫描探针显微镜以及表面图像校正方法，能够简化试样的设置作业。倾斜校正处理部对通过扫描处理部的扫描而获取到的试样的表面图像进行用于校正该表面图像的向与X方向及Y方向交叉的Z方向的倾斜的图像处理。倾斜校正处理部从表面图像中沿着规定方向在一条直线上提取多个像素，基于提取出的各像素的亮度来校正该表面图像的倾斜。倾斜校正处理部在校正在与X方向及Y方向交叉的至少一个方向(P方向)上具有平坦面的试样的表面图像的情况下进行图像处理，使得能够通过使所述规定方向(直线(28)的方向)与所述一个方向(P方向)大致一致来沿着该一个方向(P方向)提取多个像素。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 以及 表面 图像 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微镜，其特征在于，具备：悬臂，其沿着试样的表面进行相对位移；扫描处理部，其通过使所述悬臂分别沿着互相交叉的X方向和Y方向相对于试样的表面进行相对位移来对试样的表面进行扫描；以及倾斜校正处理部，其对通过所述扫描处理部的扫描而获取到的试样的表面图像，进行用于校正该表面图像的向与所述X方向及所述Y方向交叉的Z方向的倾斜的图像处理，其中，所述倾斜校正处理部从所述表面图像中沿着规定方向在一条直线上提取多个像素，基于提取出的各像素的亮度来校正该表面图像的倾斜，在校正在与所述X方向及所述Y方向交叉的至少一个方向上具有平坦面的试样的所述表面图像的情况下进行图像处理，使得能够沿着所述一个方向提取所述多个像素。
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