[发明专利]一种刻蚀图形的分析系统及方法有效
| 申请号： | 201910148632.5 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109919923B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 郭奥;康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/60;G06N20/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种刻蚀图形的分析方法，包括如下步骤：S01：形成截面预测模型；S02：将待分析晶圆的表面形貌图输入所述刻蚀图形分析系统中，采用图像提取算法分别对待分析晶圆的表面形貌图中的白边图形进行数据提取，得出待分析晶圆的白边图形数据；S03：将待分析晶圆的白边图形数据传输至所述截面预测模型进行预测，并输出待分析晶圆的预测截面形貌图。本发明提供的一种刻蚀图形的分析系统及方法，从刻蚀图形的表面形貌图中提取白边图形数据，并根据白边图形数据以及量测的实际截面形貌图建立截面预测模型，从而利用该模型以及刻蚀图形的表面形貌图实现对刻蚀图形的截面形貌图的预测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 图形 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀图形的分析方法，其特征在于，包括如下步骤：S01：形成截面预测模型，具体步骤为：S011：收集M个测试晶圆经过刻蚀工艺后的表面形貌图和实际截面形貌图，M为大于1的整数；S012：采用图像提取算法依次对所述表面形貌图中的白边图形进行数据提取，得出M个白边图形数据；S013：采用机器学习算法依次对所述白边图形数据进行分析，并结合该白边图形数据对应的实际截面形貌图建立截面预测模型；采用上述M个白边图形数据及其对应的实际截面形貌图对截面预测模型进行迭代验证和修改，直至任意一个白边图形数据经过所述截面预测模型输出的预测截面形貌图与其对应的实际截面形貌图之间的误差满足精度要求；S014：输出上述截面预测模型，并将其置于刻蚀图形分析系统中；S02：将待分析晶圆的表面形貌图输入所述刻蚀图形分析系统中，采用图像提取算法分别对待分析晶圆的表面形貌图中的白边图形进行数据提取，得出待分析晶圆的白边图形数据；S03：将待分析晶圆的白边图形数据传输至所述截面预测模型进行预测，并输出待分析晶圆的预测截面形貌图。
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