[发明专利]一种基于悬臂梁隧道电流的细颗粒物质量浓度检测方法在审
| 申请号： | 201910149158.8 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109900607A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 许锋;王焕钦;陈大仁;孔德义;虞发军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 合肥国和专利代理事务所(普通合伙) 34131 | 代理人： | 孙永刚 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于悬臂梁隧道电流的细颗粒物质量浓度检测方法，包括：体积为Qt升的气体样本经过静态悬臂梁前端气路的一段金属气路；上述气体样本中带电细颗粒物在静态悬臂梁自由端上表面的采样区上沉积；静态悬臂梁发生形变，检测隧道电流的大小；所述隧道电流是指流经静态悬臂梁自由端下表面的隧道电流表面上的电流，在隧道电流表面下方设置一个隧尖探针，隧尖探针与隧道电流表面的间距为x；计算出静态悬臂梁上吸附的细颗粒物的质量m，根据多依奇捕获效率η计算出细颗粒物的质量浓度ρ。本发明中静态悬臂梁的微变形量是通过隧道电流进行检测的，且微型静态悬臂梁均匀布线荷载较小，检测灵敏度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 静态悬臂 隧道电流 细颗粒物 质量浓度检测 气体样本 电流表 悬臂梁 自由端 气路 隧尖 探针 隧道 检测灵敏度 荷载 采样区 上表面 微变形 下表面 形变 检测 布线 沉积 带电 吸附 捕获 金属 | ||
【主权项】：
1.一种基于悬臂梁隧道电流的细颗粒物质量浓度检测方法，其特征在于：该方法包括下列顺序的步骤：(1)体积为Qt升的气体样本经过静态悬臂梁前端气路的一段金属气路；(2)上述气体样本中带电细颗粒物在静态悬臂梁自由端上表面的采样区上沉积；(3)静态悬臂梁发生形变，检测隧道电流的大小；所述隧道电流是指流经静态悬臂梁自由端下表面的隧道电流表面上的电流，在隧道电流表面下方设置一个隧尖探针，隧尖探针与隧道电流表面的间距为x；(4)计算出静态悬臂梁上吸附的细颗粒物的质量m，根据多依奇捕获效率η计算出细颗粒物的质量浓度ρ。
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