[发明专利]存储阵列结构及制备方法、存储器及写入方法和读出方法有效

专利信息
申请号: 201910150968.5 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN109860192B 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 郎莉莉;叶力 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L27/11521 分类号: H01L27/11521;H01L27/18;H01L27/22
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 宋缨
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种存储阵列结构及制备方法、存储器及写入方法和读出方法,阵列结构包括:至少一个存储单元,包括叠置串联的超导器件及磁性存储器件;至少一个超导上电极,设置于存储单元上方,至少一个超导下电极,设置于存储单元下方,至少一个超导字线,设置于存储单元上方,或者设置于存储单元下方,超导字线靠近存储单元中的超导器件设置。本发明将磁性存储器件与超导集成电路有机结合,利用超导器件实现电路的开关效果,从而替代CMOS逻辑电路,可以实现存储器在低温下的工作,保证MRAM在低的工作电压下实现高速、高密度存储,基于不同的写入方式实现上述工作,形成适用于超导逻辑制程的信息读取方式,结构设计简单,有利于减少刻蚀次数。
搜索关键词: 存储 阵列 结构 制备 方法 存储器 写入 读出
【主权项】:
1.一种存储阵列结构,其特征在于,所述存储阵列结构包括:至少一个存储单元,所述存储单元包括叠置的超导器件及磁性存储器件,且所述超导器件与所述磁性存储器件串联设置;至少一个超导上电极,所述超导上电极设置于所述存储单元上方,并与对应的所述存储单元电连接,当存在至少两个所述超导上电极时,各所述超导上电极之间不接触;至少一个超导下电极,所述超导下电极设置于所述存储单元下方,并与对应的所述存储单元电连接,当存在至少两个所述超导下电极时,各所述超导下电极之间不接触;以及至少一个超导字线,所述超导字线设置于所述存储单元上方,并设置于对应的所述超导上电极远离所述存储单元的一侧,且所述超导字线与所述超导上电极之间具有间距;或者,所述超导字线设置于所述存储单元下方,并设置于对应的所述超导下电极远离所述存储单元的一侧,且所述超导字线与所述超导下电极之间具有间距;当存在至少两个所述超导字线时,各所述超导字线之间不接触,其中,所述超导字线靠近对应的所述存储单元中的所述超导器件设置。
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