[发明专利]平面靶材的退绑修复方法在审
| 申请号： | 201910151128.0 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109763106A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 余芳;朱刘;童培云;文崇斌 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清远市高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面靶材的退绑修复方法，其包括如下步骤：S1、平面靶材包括若干退绑片和若干非退绑片，在每一非退绑片上施加一压块，压块与非退绑片的接触面积占非退绑片面积的1/3~1/2；在每一非退绑片上盖上锡箔纸；S2、对退绑片启动加热，以0.5~1℃/min的升温速率升温至80~100℃，然后保温30~50min；S3、再以1~1.5℃/min的升温速率升温至140~150℃，然后保温10~20 min；S4、继续以1~1.5℃/min的升温速率升温至180~200℃，然后保温20~35 min；待铟完全融化后，退绑片即从平面靶材上退绑。本发明不仅能实现靶材片的退绑，还能重新绑定靶材片实现靶材的修复。 | ||
| 搜索关键词： | 平面靶材 靶材 保温 修复 压块 锡箔纸 绑定 上盖 与非 加热 融化 施加 | ||
【主权项】：
1.一种平面靶材的退绑修复方法，其特征在于：其包括如下步骤：S1、平面靶材包括若干退绑片和若干非退绑片，在每一非退绑片上施加一压块，压块与非退绑片的接触面积占非退绑片面积的1/3~1/2；在每一非退绑片上盖上锡箔纸；S2、对退绑片启动加热，以0.5~1℃/min的升温速率升温至80~100℃，然后保温30~50min；S3、再以1~1.5℃/min的升温速率升温至140~150℃，然后保温10~20 min；S4、继续以1~1.5℃/min的升温速率升温至180~200℃，然后保温20~35 min；待铟完全融化后，退绑片即从平面靶材上退绑。
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