[发明专利]一种实现批量刀具自转的化学气相沉积设备及其沉积方法

摘要

本发明涉及的是一种自动化设备，尤其是一种实现批量刀具自转的化学气相沉积设备及其沉积方法。包括驱动电机、底座、反应钟罩、工作台、刀具定位部件和刀具旋转部件；在底座圆周罩有反应钟罩，底座的下部开有贯通底座的进、出气口，底座的侧面设有进、出水口；驱动电机通过支架安装在底座下部；在底座上部中间位置设有工作台，工作台上设有与驱动电机通过转轴相连的刀具旋转部件，刀具旋转部件与刀具定位部件相连；在工作台两侧均设有钼片，在水平相对的两根钼片端部共同装夹有热丝。本发明能对预处理后的大尺寸复杂形状刀具进行CVD沉积，实现每把刀具独立自转，能根据需要处理安装齿轮，保证涂层均匀，显著提高各刀具不同部位生长温度一致性。

主权项

1.一种实现批量刀具自转的化学气相沉积设备，其特征在于：包括驱动电机、底座、反应钟罩、工作台、刀具定位部件和刀具旋转部件；所述底座为圆形，在底座圆周罩有反应钟罩，底座的下部开有贯通底座的进、出气口，底座的侧面设有进、出水口；在底座中心开有通孔，驱动电机通过支架安装在底座下部；在底座上部中间位置设有工作台，工作台上设有与驱动电机通过转轴相连的刀具旋转部件，刀具旋转部件与刀具定位部件相连；刀具定位部件用于固定待加工刀具，刀具旋转部件用于带动刀具旋转工作；在工作台两侧均设有垂直于工作台并且与刀具定位部件相平行的钼片，在水平相对的两根钼片端部共同装夹有热丝，用于提供反应温度；工作台两侧的钼片分别通过导线与设置在底座底部的正电极以及负电极相连，使用时通过将正电极以及负电极与外部交流电源连接得电；所述刀具定位部件包括刀具固定座和刀具固定柱，刀具固定座至少设有一个，在刀具固定座中间设有中空的刀具固定柱，刀具固定柱的侧壁开有若干个卡槽，在卡槽内设有弹簧卡爪，用于夹持刀具的刀柄；所述弹簧卡爪为L形金属爪件，弹簧卡爪斜插入卡槽，弹簧卡爪上端和下端的弹簧分别固定在卡槽壁上；所述刀具旋转部件包括若干个互相啮合的齿轮，齿轮的中心通过销轴安装在工作台底部；与齿轮的中心相连的销轴穿过工作台后与刀具固定座相连，从而使得刀具固定座能与齿轮同步旋转。