[发明专利]一种基片架变形的检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201910151939.0 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110006391A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 徐伟清 | 申请（专利权）人： | 山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32;G08B21/18 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 255086 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明适用于镀膜制备领域，提供了基片架变形的检测装置，包括第一信号发生模块、第一信号接收模块和处理模块；第一信号发生模块和第一信号接收模块分别设置于基片架上水平方向的两端；第一信号发生模块和第一信号接收模块分别用于发送和接收所述检测信号；处理模块，用于根据第一信号接收模块的信号接收情况，获取基片架的变形信息，并根据基片架的变形信息发出对应的警示信号。本发明实施例通过在基片架的两端设置信号发生模块和信号接收模块，根据信号接收模块的接收情况确定基片架的变形量并发出警示信号，方便检测基片架的变形信息，检测误差，并能够及时获知基片架的变形情况，方便快捷，解决了现有技术无法实时反映基片架存在变形的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基片架 接收模块 变形信息 发生模块 变形的 信号接收模块 处理模块 检测装置 并发出警示信号 信号发生模块 方便检测 检测误差 检测信号 警示信号 两端设置 信号接收 变形量 镀膜 获知 制备 变形 发送 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基片架变形的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括第一信号发生模块、第一信号接收模块和处理模块；所述第一信号发生模块设置于基片架上水平方向的一端，所述第一信号接收模块设置于基片架上水平方向的另一端；所述第一信号发生模块，用于发送检测信号；所述第一信号接收模块，用于接收所述检测信号；所述处理模块，分别与所述第一信号发生模块和所述第一信号接收模块相连接，用于根据所述第一信号接收模块的信号接收情况，获取所述基片架的变形信息，并根据所述基片架的变形信息发出对应的警示信号。
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