[发明专利]一种钼管的制备方法在审
申请号: | 201910152097.0 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN110000391A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 魏修宇;吴建国;刘伟;宋立强;傅崇伟;张外平 | 申请(专利权)人: | 株洲硬质合金集团有限公司 |
主分类号: | B22F5/12 | 分类号: | B22F5/12;B22F3/15;B22F3/20;C23C14/34 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;康志梅 |
地址: | 412000 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种旋转靶材用钼管的制备方法,包括以下步骤:S1.对钼粉进行装粉和热等静压处理,得到钼管坯;S2.对所述钼管坯进行挤压和退火处理,制得所述钼管。本发明具有工序步骤少、生产周期短等优点,由该方法制备的钼管密度高、晶粒组织细小均匀,密度≥99%理论密度,平均晶粒尺寸≤40μ,最大长度可超过4米,能够很好的满足平面显示和太阳能光伏等行业的溅射镀膜要求。 | ||
搜索关键词: | 钼管 制备 钼管坯 生产周期 太阳能光伏 工序步骤 溅射镀膜 晶粒组织 平均晶粒 平面显示 热等静压 退火处理 旋转靶材 装粉 钼粉 挤压 | ||
【主权项】:
1.一种钼管的制备方法,包括以下步骤:S1.对钼粉进行装粉和热等静压处理,得到钼管坯;S2.对所述钼管坯进行挤压和退火处理,制得所述钼管。
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