[发明专利]进出料装置在审
| 申请号： | 201910152890.0 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621765A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 韩晓琳;刘福山;刘洋 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 037000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种进出料装置，用于密闭腔室的进出料，密闭腔室上设置有供基材通过的开口，进出料装置包括：夹送辊组件，夹送辊组件包括第一夹送辊和第二夹送辊，第一夹送辊和第二夹送辊设置于密闭腔室的外侧，用于驱动基材进入或移出密闭腔室；间距调节机构，间距调节机构与第一夹送辊和/或第二夹送辊连接，用于调节第一夹送辊和第二夹送辊之间的间距。与现有技术相比，本发明进出料装置通过间距调节可以提高夹送辊与基材的密封效果，且可以兼容输送不同厚度的基材。 | ||
| 搜索关键词： | 进出 装置 | ||
【主权项】：
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