[发明专利]一种兆声掩膜电解加工高深宽比微结构的装置及方法

摘要

一种兆声掩膜电解加工高深宽比微结构的装置及方法，属于电解加工领域，该装置中上盖板、侧围板、下底板组成电解液腔；兆声阳极安装于上盖板，阴极板固定于下底板；刻蚀件固定于兆声阳极上，压电陶瓷粘贴于兆声阳极的内部。兆声掩膜电解加工提高微结构深刻蚀能力的工艺为：在电解液腔由进液孔泵入电解液并从出液孔流出并循环；通过陶瓷引线为压电陶瓷通入兆声波信号，压电陶瓷产生兆声振动激励阳极工件振动，向电解液中辐射兆声波；分别通过阳极导线、阴极导电螺钉为阳极工件、阴极板接入刻蚀电流，实现阳极电解加工。本发明操作简单易行，能够有效提高金属微结构的深刻蚀能力，实现金属高深宽比微结构的兆声掩膜电解加工。

主权项

1.一种兆声掩膜电解加工高深宽比微结构的装置，其特征在于，所述的装置包括上盖板(1)、侧围板(2)、下底板(3)、紧固螺栓组(4)、兆声阳极(5)、刻蚀工件(6)、阴极板(7)；所述的上盖板(1)、侧围板(2)、下底板(3)组成电解液腔，并通过紧固螺栓组(4)固接，侧围板(2)上设有进、出液孔(20)、(21)；兆声阳极(5)安装于上盖板(1)，阴极板(7)固定于下底板(3)；刻蚀工件(6)为阳极工件，固定在兆声阳极(5)上，与兆声阳极(5)紧密接触固定为一弹性体；所述的兆声阳极(5)包括兆声阳极工具头(50)、密封板(51)、紧定螺钉(52)、圆管(53)、位置调节旋钮(54)；所述的兆声阳极工具头(50)与密封板(51)通过紧定螺钉(52)固接，密封板(51)中心通孔与圆管(53)配合，圆管(53)管壁开有外螺纹，位置调节旋钮(54)与圆管(53)通过螺纹配合，通过位置调节旋钮(54)调整阴阳极间距；所述的兆声阳极工具头(50)包括压电陶瓷(500)、陶瓷引线(501)、阳极导线(502)，压电陶瓷(500)粘贴于兆声阳极(5)内部，导线(501)与导线(502)穿过圆管(53)引出接电；圆管(53)的外螺纹与上盖板(1)上的螺纹孔(10)组成螺旋传动副。