[发明专利]多尺度特征结构分步式微压印成形装置及成形方法

摘要

本发明公开一种多尺度特征结构分步式微压印成形装置及成形方法，包括上模柄、下模柄、上模板、下模板、凸模和凹模，上下模柄分别固定于压力机的横梁和底座上，上模柄的底端依次同轴线固定连接有上模板和凸模，下模柄的顶端依次同轴线固定连接有下模板和凹模，坯料放置于凹模上。采用本发明能够实现阵列结构的宏观结构与微观结构分步成形，阵列微结构从微米尺度到厘米尺度高精度微压印成形，解决微压印多尺度加工单纯依靠一种加工工艺难度大，尺寸精度和加工效率难以同时实现的问题。实现阵列微结构高精度微压印成形，集精确定位、成形温度控制以及脱模于一体，提高了加工效率，实现批量制造。

主权项

1.多尺度特征结构分步式微压印成形装置，其特征在于：包括上模柄、下模柄、上模板、下模板、凸模和凹模，上下模柄分别固定于压力机的横梁和底座上，所述上模柄的底端依次同轴线固定连接有所述上模板和凸模，所述下模柄的顶端依次同轴线固定连接有所述下模板和凹模，坯料放置于所述凹模上。