[发明专利]扫描透射带电粒子显微镜中的区别成像技术在审
| 申请号： | 201910154772.3 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110223901A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | E.G.博世;I.拉吉克;R.因劳 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;H01J37/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 扫描透射带电粒子显微镜中的区别成像技术。在扫描透射带电粒子显微镜中成像样品的方法，包括以下步骤：‑在样品固定器上提供样品；‑提供从源通过照明器引导的带电粒子束，以照射样品；‑提供分段式检测器，用于检测穿过样品的带电粒子通量，该通量在所述检测器上形成束覆盖区；‑使所述束扫描样品的表面，组合来自检测器的不同区段的信号，以便在每个扫描位置处产生来自检测器的矢量输出，并且编译该数据以产生成像矢量场；‑通过对所述成像矢量场进行二维积分操作来数学处理所述成像矢量场，从而产生样品的积分矢量场图像，具体包括：‑使用所述束覆盖区的受限子区域产生所述矢量输出，以及伴随的成像矢量场和积分矢量场图像。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 带电粒子 矢量场 成像 透射 显微镜 扫描 成像技术 积分矢量 矢量输出 场图像 覆盖区 通量 带电粒子束 样品固定器 成像样品 积分操作 扫描位置 数学处理 伴随的 分段式 束扫描 引导的 照明器 子区域 二维 受限 编译 照射 穿过 检测 | ||
【主权项】：
1.在扫描透射带电粒子显微镜中成像样品的方法，包括以下步骤：‑在样品固定器上提供样品；‑提供从源通过照明器引导的带电粒子束，以照射样品；‑提供分段式检测器，用于检测穿过样品的带电粒子通量，该通量在所述检测器上形成束覆盖区；‑使所述束扫描样品的表面，组合来自检测器的不同区段的信号，以便在每个扫描位置处产生来自检测器的矢量输出，并且编译该数据以产生成像矢量场；‑通过对所述成像矢量场进行二维积分操作来数学处理所述成像矢量场，从而产生样品的积分矢量场图像，其特征在于：‑使用所述束覆盖区的受限子区域产生所述矢量输出，以及伴随的成像矢量场和积分矢量场图像。
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