[发明专利]一种具有催化特性的贵金属/氧化物复合薄膜及制备方法有效

专利信息
申请号: 201910155268.5 申请日: 2019-02-27
公开(公告)号: CN109735817B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 杜铁路 申请(专利权)人: 杜铁路
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58;B01J23/89;B01J23/68
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710032 陕西省西安*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种具有催化特性的贵金属/氧化物复合薄膜及其制备方法,该方法是通过磁控共溅射技术首先制备包含贵金属的二元或多元伪合金体系,再辅助后续气氛退火处理,制备具有催化特性的贵金属/氧化物复合薄膜。本发明本工艺过程环境友好,简单易行,不使用有毒有害化学试剂,对基底无特殊要求,只需两步即可得到催化性能优异、膜基结合力强的复合薄膜,在氧化还原反应、化学电源、污染物降解、光电器件等领域都具有良好的应用潜力和前景,为催化薄膜的工业化应用提供了新的普适性的技术思路。
搜索关键词: 一种 具有 催化 特性 贵金属 氧化物 复合 薄膜 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有催化特性的贵金属/氧化物复合薄膜,其特征在于,贵金属/氧化物复合薄膜为采用磁控共溅射方法制备的二元或多元伪合金体系薄膜,所述二元或多元伪合金体系薄膜包含一种贵金属元素,该贵金属元素与其余任一种金属元素均不固溶;所述贵金属元素以微纳尺度的小颗粒、小岛的形式存在,且以一定间距分布于其余金属元素对应的氧化物之上。
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