[发明专利]抑制直流漂移的集成光波导电场传感芯片、系统及方法有效
| 申请号： | 201910155835.7 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109975618B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张家洪;朱楚奕;杨秀梅;万小容 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G02F1/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抑制直流漂移的集成光波导电场传感芯片、系统及方法，芯片包括铌酸锂晶片、两平行直波导、T形电极、两平行条形电极、反射膜。本发明提供的电场传感芯片通过设置两条相同的直波导、T形电极和两片相同的条形平行电极，使得被测电场信号对两波导中的光波产生相反的调制作用，而由温度等外部因素引起的直流漂移相同，在系统输出端采用电信号采集处理器进行差分运算即可抵消直流漂移，有效地克服了集成光波导电场传感器普遍存在直流漂移问题，实现稳定、准确地对电场进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 直流 漂移 集成 波导 电场 传感 芯片 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抑制直流漂移的集成光波导电场传感芯片，其特征在于：包括：铌酸锂晶片(1)、两平行直波导(2)、T形电极(3)、两平行条形电极(4)、反射膜(5)；在一片铌酸锂晶片(1)表面设置两平行直波导(2)，在两平行直波导(2)的外侧设置两平行条形电极(4)，T形电极(3)中带一个悬空端的边位于两平行直波导(2)的内侧，T形电极(3)中带两个悬空端的边与两平行直波导(2)垂直，在两平行直波导(2)的末端端面设置反射膜(5)，在两平行直波导(2)的输入端面进行抛光处理。
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