[发明专利]一种柔性压敏传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910156233.3 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109799014A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘明;王志广;胡忠强;周子尧;胡超杰;苏玮 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种柔性压敏传感器及其制备方法，包括柔性衬底、电极、压敏薄膜和保护层；若干电极间隔设置在柔性衬底的上表面，柔性衬底和电极上表面覆盖有压敏薄膜；压敏薄膜上设置有一层保护层。本发明的GST压敏薄膜可以实现室温沉积，免去了高温P型或N型掺杂过程，因此GST传感器更适合于柔性压力传感应用。 | ||
| 搜索关键词： | 压敏薄膜 衬底 压敏传感器 保护层 上表面 电极 制备 电极间隔 柔性压力 室温沉积 传感器 传感 有压 薄膜 覆盖 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压敏传感器，其特征在于，包括柔性衬底(60)、电极(80)、压敏薄膜(90)和保护层(100)；若干电极(80)间隔设置在柔性衬底(60)的上表面，柔性衬底(60)和电极(80)上表面覆盖有压敏薄膜(90)；压敏薄膜(90)上设置有一层保护层(100)。
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