[发明专利]一种非等径磁过滤系统

摘要

本发明涉及一种非等径磁过滤系统，包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极，非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘，下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩，下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩，压缩磁场临近位于下法兰盘，高脉冲磁场位于上法兰盘上，脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部；利用金属等离子体作为电离源，同时添加一个等离子体的传输通道，增加电子或离子与气体的作用时间，含碳气体的电离效率有南的提升，大幅提高等离子体密度，同时解决膜层的均匀性问题。

主权项

1.一种非等径磁过滤系统，其特征在于：包括非等径磁过滤弯管、高脉冲磁场、压缩磁场和脉冲偏压电极，所述非等径磁过滤弯管分别设有上法兰盘和下法兰盘，所述下法兰盘的上方设置有上屏蔽罩，所述下法兰盘的下方设置有下屏蔽罩，所述压缩磁场临近位于所述下法兰盘，所述高脉冲磁场位于上法兰盘上，所述脉冲偏压电极位于非等径磁过滤弯管中部；所述高脉冲磁场用于控制弧源靶材弧斑运动，使靶材均匀消耗，同时在弯管传输方向提供电场；所述脉冲偏压电极压缩等离子体，提高等离子体的传输效率；所述压缩磁场用于压缩等离子体，通入的气体能够在压缩段进行充分电离，提高等离子体密度和气体的电离度。