[发明专利]天线机构及表面波等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201910156654.6 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111640642B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王乐;赵晓丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种天线机构及表面波等离子体加工设备，该天线机构包括调整支架及由下而上依次叠置在调整支架上的介质窗、狭缝板和慢波板，狭缝板包括：狭缝本体，叠置在介质窗与慢波板之间；弹性结构，位于介质窗的外侧，且分别与狭缝本体和调整支架连接，并且弹性结构能够在介质窗下移时，在慢波板的重力作用下产生弹性变形，以使狭缝本体的下表面与介质窗的上表面保持接触。本发明提供的天线机构，其可以提高微波能量传输的稳定性，从而避免对等离子体的形成产生不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 机构 表面波 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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