[发明专利]相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910156692.1 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109665834B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈杰;齐超;孙本双;舒永春;曾学云;何季麟 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法。制备方法包括：氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合，得到混合粉末；混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质混合，利用球磨装置，控制球磨参数，进行球磨混合，得到混合物料；混合物料在造粒机上进行喷雾造粒；喷雾造粒得到的产物模压成型，得到靶材素坯；靶材素坯进行烧结，得到相组成可控的IGZO靶材。通过对制备过程中工艺参数的有效控制，根据原料摩尔比获得了物相单一且物相可控的高品质IGZO靶材，靶材中不含有其它杂相成分，晶粒间及内部不存在二次相组织，晶粒间结合致密，靶材致密度高，具有较高的产业利用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 组成 可控 氧化 铟镓锌靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.相组成可控的氧化铟镓锌靶材的制备方法，其特征在于，该制备方法包括：(a)氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合，得到混合粉末；(b)混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质，利用球磨装置进行球磨混合,得到混合物料；(c)混合物料在造粒机上进行喷雾造粒；(d)喷雾造粒得到的产物模压成型，得到靶材素坯；(e)靶材素坯进行烧结，得到相组成可控的氧化铟镓锌靶材。
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