[发明专利]一种引入量子点的日盲紫外探测结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种引入量子点的日盲紫外探测结构及其制备方法，本发明的探测结构包括设置在底层的可见光电荷耦合元件CCD探测器、覆盖在所述可见光CCD探测器的表面平整层、设置在平整层的表面的波长转换层和设置在顶层的滤光层；可见光CCD探测器包括阵列式光敏单元；波长转换层由呈阵列分布的波长转换单元构成，且波长转换单元为微透镜结构，其材料采用了聚合物混溶量子点，量子点为ZnCdS:Mn/ZnS厚壳层量子点。常规紫外探测系统需要专门设计一个可探测紫外光的结构，本发明的探测结构相比于现有的紫外探测系统，实现了使用常规可见光CCD对紫外光进行探测的功能，且该系统的结构简单、性能稳定、加工容易、成本较低。

主权项

1.一种引入量子点的日盲紫外探测结构，其特征在于，所述探测结构包括可见光电荷耦合元件CCD探测器、平整层、波长转换层和滤光层；其中所述可见光CCD探测器设置在所述探测结构的底层，所述可见光CCD探测器包括阵列式光敏单元；所述平整层覆盖在所述可见光CCD探测器的表面；所述波长转换层设置在平整层的表面，所述波长转换层由呈阵列分布的波长转换单元构成，所述波长转换单元为微透镜结构，且所述的波长转换单元与所述CCD探测器的阵列式光敏单元一一对应且区域面积完全覆盖CCD探测器的光敏单元；所述波长转换层的材料采用了聚合物混溶量子点，所述量子点为ZnCdS:Mn/ZnS厚壳层量子点；所述滤光层设置在所述探测结构的顶层。