[发明专利]固体摄像装置在审

专利信息
申请号: 201910159688.0 申请日: 2019-03-04
公开(公告)号: CN110828491A 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 板桥康 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 高迪
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供一种能够减小分光特性的波动的固体摄像装置。实施方式的固体摄像装置具备:基板;像素,设置在上述基板的表面;第1布线层,设置在上述基板之上,具有与上述像素对置的第1开口;第2布线层,设置在上述第1布线层之上,具有与上述第1开口对置的第2开口;以及绝缘膜,将上述像素、上述第1布线层及上述第2布线层覆盖,具有设置在与上述第2开口对置的区域的多个凹部。上述第2开口的边缘与上述第1开口的边缘相比向远离上述第1开口的中心的方向后退。上述凹部具有圆形状的开口和有曲率的凹面,配置在比上述第2开口的上述边缘靠内侧的区域。
搜索关键词: 固体 摄像 装置
【主权项】:
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