[发明专利]光学发射光谱仪的校准器在审
| 申请号： | 201910160116.4 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN110320183A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 文丁一;李衡周;宣钟宇;具滋明;黄载雄;安宗焕 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 尹淑梅;刘美华 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器。该OES的校准器可以包括盖、参考光源和控制器。盖可以与等离子体处理设备的等离子体腔室的顶板可拆卸地结合。参考光源可以安装在盖处，以通过等离子体腔室的内部空间向OES照射参考光。控制器可以将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中的等离子体处理期间输入到OES的实际光的光谱进行比较以校准OES。因此，可以在不从等离子体室拆卸OES的情况下校准OES，以减少用于校准OES的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体腔室 校准 校准器 参考光源 控制器 参考光 光谱 等离子体处理设备 等离子体处理 光学发射光谱 等离子体室 光谱仪 光学发射 可拆卸 入射 拆卸 照射 | ||
【主权项】：
1.一种光学发射光谱仪的校准器，所述校准器包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板可拆卸地结合；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向光学发射光谱仪照射参考光；以及控制器，被配置为通过将入射到光学发射光谱仪的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到光学发射光谱仪的实际光的光谱进行比较，来校准光学发射光谱仪。
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