[发明专利]一种真空计及其工作方法有效
| 申请号： | 201910160225.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109950319B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 向平华;徐冬冬;钟妮;彭晖;段纯刚 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34;G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空计及其工作方法，该真空计的核心是由三氧化钨薄膜沟道、离子凝胶、源极、漏极及栅极构成的平面薄膜晶体管结构。其中，源、漏极与三氧化钨薄膜沟道两端相连，栅极与沟道隔离，离子凝胶覆盖于沟道表面，并与栅极相连。将源极、漏极及栅极外接电压、电流测试源表，即构成一个完整的真空计。通过对栅极施加较小的偏压，可实现对三氧化钨薄膜沟道电阻的调控，三氧化钨薄膜的阻变幅值与真空度存在明显的线性关系。基于该原理，本发明真空计具有结构简单、配置灵活、量程大、成本低、体积小、能耗少的优点。此外，若采用柔性的云母衬底，该真空计可以在弯曲状态下工作，能够满足内部具有不同几何构造的设备的测试要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空计，该真空计基于平面薄膜晶体管结构，其特征在于：包括绝缘衬底（1）、三氧化钨薄膜沟道（2）、源极（3）、漏极（5）、栅极（4）及离子凝胶（6）；所述源极（3）、漏极（4）与三氧化钨薄膜沟道（2）两端相连，栅极（4）与三氧化钨薄膜沟道（2）隔离，离子凝胶（6）覆盖于三氧化钨薄膜沟道（2）表面，并与栅极（4）相连；将源极（3）、漏极（5）及栅极（4）外接电压、电流测试源表，即构成所述的真空计。
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