[发明专利]等离子体源、用于激发等离子体的激发系统和光学监测系统有效
| 申请号： | 201910160394.X | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN110662339B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 马克·A·梅洛尼 | 申请（专利权）人： | 真实仪器公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体源和一种用于激发等离子体的激发系统，和一种光学监测系统。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴谐振腔主体，其具有内长度且包含第一端、第二端、内电极和外电极，(2)射频信号接口，其沿着所述内长度在固定位置电耦合到所述内电极和所述外电极并且经配置以提供射频信号到所述同轴谐振腔主体，(3)窗口，其经定位在所述同轴谐振腔主体的所述第一端处，和(4)安装凸缘，其经定位靠近所述同轴谐振腔主体的所述第一端处的所述窗口且界定等离子体腔，其中所述窗口形成所述等离子体腔的一个侧且将所述同轴谐振腔主体与所述等离子体腔中的等离子体隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 用于 激发 系统 光学 监测 | ||
【主权项】：
1.一种用于从一或多种气体激发等离子体及监测由此而来的光学发射的等离子体源，所述等离子体源包括：/n同轴谐振腔主体，其具有内长度且包含第一端、第二端、内电极和外电极；/n射频信号接口，其沿着所述内长度在固定位置电耦合到所述内电极和所述外电极并且经配置以提供射频信号到所述同轴谐振腔主体；/n窗口，其经定位在所述同轴谐振腔主体的所述第一端处；和/n安装凸缘，其经定位靠近所述同轴谐振腔主体的所述第一端处的所述窗口且界定等离子体腔，其中所述窗口形成所述等离子体腔的一个侧且将所述同轴谐振腔主体与所述等离子体腔中的等离子体隔离。/n
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