[发明专利]一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置有效
| 申请号： | 201910160434.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109781033B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;曹频 | 申请（专利权）人： | 杭州晶耐科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310027 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置。本发明包括深紫外条纹投影系统和深紫外成像系统，其中深紫外条纹投影系统包括宽谱深紫外LED光源、窄带紫外波段滤波片、准直扩束系统、一维深紫外横向剪切光栅及扩束镜组，且宽谱深紫外LED光源和窄带紫外波段滤波片构成紫外光源单元；深紫外成像系统由成像透镜和深紫外CCD组成。本发明对透明材质的曲面玻璃表面三维轮廓实现高精度形变检测，克服了传统可见结构光光源穿透透明材质混淆上下表面形貌形变的弊端，避免数字曝光正弦光栅产生的锯齿状条纹带来的误差，实现了对大尺寸曲面玻璃三维轮廓的精确重构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 材质 三维 轮廓 深紫 结构 精密 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于，该装置包括深紫外条纹投影系统和深紫外成像系统，其中深紫外条纹投影系统包括宽谱深紫外LED光源(S0)、窄带紫外波段滤波片(S1)、准直扩束系统(S2)、一维深紫外横向剪切光栅(S3)及扩束镜组(S5)，且宽谱深紫外LED光源(S0)和窄带紫外波段滤波片(S1)构成紫外光源单元；深紫外成像系统由成像透镜(S7)和深紫外CCD(S8)组成；深紫外LED光源(S0)发出的宽带光射入窄带紫外波段滤波片(S1)中得到窄带深紫外光，窄带深紫外光通过准直扩束系统(S2)后以平行光入射到一维横向剪切光栅(S3)上，衍射形成两个波前完全相同但有一定倾角的复制波前，在两复制波前重叠区域形成干涉条纹作为条纹结构光，条纹结构光再通过扩束镜组(S5)形成具有稳定周期的深紫外波段结构光；深紫外波段结构光投射到放有透明材质被测物(S9)的参考平台(S6)上，并利用深紫外成像系统接收经过物体高度调制后的变形条纹图像。
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