[发明专利]机械手位置校准装置及方法、机械手控制系统在审
| 申请号： | 201910160625.7 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111645064A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘悦;刘皓 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J13/08;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种机械手位置校准装置及方法、机械手控制系统，该机械手位置校准装置包括多个检测单元和控制单元，其中，多个所述检测单元设置在腔室中，且分布在与标准承载位的边界上的不同位置相对应的位置处，用于检测各自对应的位置处是否有晶片，并向所述控制单元发送检测信号；所述控制单元用于根据所述检测信号判断所述腔室中是否有晶片；若有，则根据所述检测信号判断所述晶片是否相对于所述标准承载位发生偏移，若是，则根据所述检测信号获得所述晶片相对于所述标准承载位的偏移方向，并根据所述偏移方向调整机械手的取片位置。通过本发明，减小了腔室中有无晶片的误判，并且提高了工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 位置 校准 装置 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910160625.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种补偿式蝶阀及其制备方法
- 下一篇：一种建筑工程用模板结构
