[发明专利]柔性连接装置、测量系统及光刻机有效
| 申请号： | 201910161395.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111650816B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王明明 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性连接装置、测量系统和光刻机，所述柔性连接装置具有连接主体以及沿Z方向叠加设置于连接主体中的第一柔性单元和第二柔性单元，连接主体具有在Z方向上的两个连接端，其中第一柔性单元提供连接主体在X方向和Z方向上的位移调节，第二柔性单元提供连接主体在Y方向上的位移调节。从而可以实现X、Y、Z以及Rx、Ry和Rz六个自由度上的位移调节，在应用于光刻设备的主基板和栅格板连接时，可以提高栅格板对来自各方向位移变化的适应性，有效隔离主基板及其它振动和干扰因素对栅格板的影响。所述测量系统和光刻机均包括上述柔性连接装置。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 连接 装置 测量 系统 光刻 | ||
【主权项】：
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