[发明专利]获得结构探测显微成像系统的最优结构探测函数的装置及方法有效
申请号: | 201910162043.2 | 申请日: | 2019-03-04 |
公开(公告)号: | CN109883955B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 倪赫;邹丽敏;李博;尹哲;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 毕雅凤 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 获得结构探测显微成像系统的最优结构探测函数的装置及方法,涉及显微成像领域,为了解决现有结构探测显微成像系统中结构探测函数不是最优结构探测函数,从而成像分辨率低的问题。本发明的方法包括:步骤一、在空间光调制器的调制面上随机生成一个调制图像作为初始的结构探测函数;步骤二、获得重构的图像信息和各采样点光斑的光强分布信息;步骤三、根据重构的图像与标准样品逐点比较获得的总误差、各采样点光斑的光强分布信息调整结构探测函数,得到调整后的结构探测函数,然后更新空间光调制器的结构探测函数并返回步骤二,直至得到的结构探测函数为最优结构探测函数。适用于获得结构探测显微成像系统的最优结构探测函数。 | ||
搜索关键词: | 获得 结构 探测 显微 成像 系统 最优 函数 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.获得结构探测显微成像系统的最优结构探测函数的装置,其特征在于,包括激光器(1)、标准样品(8)、空间光调制器(12)、分光棱镜(14)、光电探测器(15)和CCD(16);激光器(1)发出的激光经标准样品(8)反射后入射至空间光调制器(12),经空间光调制器(12)调制后入射至分光棱镜(14),分光棱镜(14)将光束分为两束,一束入射至光电探测器(15),获得重构的图像信息,另一束入射至CCD(16),获得光斑的光强分布信息。
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