[发明专利]具有多功能窗口的全天时成像探测器及其制备方法有效
申请号: | 201910162595.3 | 申请日: | 2019-03-05 |
公开(公告)号: | CN109887944B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 刘卫国;王卓曼;刘欢;白民宇;韩军;王曦;梁海锋;安妍 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L31/09 |
代理公司: | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人: | 许佳 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及具有多功能窗口的全天时成像探测器及其制备方法,该装置包括包括多功能窗口和探测部分,多功能窗口包括微透镜阵列、窗口本体和滤光片阵列;所述微透镜阵列集成在窗口本体的上表面,每个微透镜单元顶面均为球冠结构,球冠的俯视投影为正方形,相邻微透镜单元球冠俯视投影的正方形相接;所述滤光片阵列镀制在窗口本体的下表面;所述滤光片阵列包括四种滤光片,分别为三种单色可见光结合红外波段的带通滤光片和一种红外滤光片;所述探测部分由像素单元阵列构成,每个像素单元包括四种亚像素单元,四种亚像素单元与四种滤光片一一正对;本发明还介绍了微透镜阵列的制备方法、探测器的探测方法。本发明装置可以实现全天时探测。 | ||
搜索关键词: | 具有 多功能 窗口 天时 成像 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.具有多功能窗口的全天时成像探测器,包括多功能窗口(1)和探测部分(2),其特征在于,多功能窗口(1)包括微透镜阵列(3)、窗口本体(4)和滤光片阵列(5);所述微透镜阵列(3)集成在窗口本体(4)的上表面,每个微透镜单元顶面均为球冠结构,球冠的俯视投影为正方形,相邻微透镜单元球冠俯视投影的正方形相接;所述滤光片阵列(5)镀制在窗口本体(4)的下表面;所述滤光片阵列(5)包括四种滤光片,分别为三种单色可见光结合红外波段的带通滤光片和一种红外滤光片;所述探测部分由像素单元阵列构成,每个像素单元包括四种亚像素单元,四种亚像素单元与四种滤光片一一正对。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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