[发明专利]一种多层纳米复合刀具涂层及其制作方法有效
| 申请号： | 201910162657.0 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN110042350B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 郭光宇;陈金海;钟伟强 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 杨树民 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多层纳米复合刀具涂层的制作方法，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，然后将转架放置在由Cr靶材、AlTi靶材和AlCrSiW靶材组成的闭合镀膜设备中，并将真空室抽真空处理，最后打开加热器升温；3）离子清洗和离子轰击：通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗，关闭氩气，开启Cr靶材；4）制作底部粘接层：通入氮气，沉积CrN结合层；5）制作中间耐磨层：关闭Cr靶材，开启AlTi靶材，表面沉积AlTiN中间层；6）制作混合过渡层：开启AlCrSiW靶材和AlTi靶材，表面沉积AlCrSiWN及AlTiN混合层；7）制作表面功能层：关闭AlTi靶材，开启AlCrSiW靶材，表面沉积AlCrSiWN表面层，得到多层纳米复合刀具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 纳米 复合 刀具 涂层 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层纳米复合刀具涂层的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）刀具清洗：首先将刀具基体放入到超声波清洗机内进行清洗，然后去除的刀具基体表面水分，使得刀具基体表面干燥、清洁；（2）抽真空处理：首先将完成步骤（1）的刀具基体均匀装夹在镀膜设备的转架上，然后将转架放置在由Cr靶材、AlTi靶材和AlCrSiW靶材组成的闭合镀膜设备中，并将真空室进行抽真空处理，最后打开加热器升温；（3）离子清洗和离子轰击：首先在完成步骤（2）的真空室内通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗，然后关闭氩气输入，开启Cr靶材，对完成步骤（2）的刀具基体进行Cr离子轰击，提高刀具基体表面的活性；（4）制作底部粘接层：在完成步骤（3）的真空室内通入氮气，使得在刀具基体的表面沉积CrN结合层；（5）制作中间耐磨层：关闭Cr靶材，开启AlTi靶材，在完成步骤（4）的CrN结合层的表面沉积AlTiN中间层；（6）制作混合过渡层：开启AlCrSiW靶材和AlTi靶材，在完成步骤（5）的AlTiN中间层的表面沉积AlCrSiWN及AlTiN混合层；（7）制作表面功能层：关闭AlTi靶材，开启AlCrSiW靶材，在完成步骤（6）的AlCrSiWN及AlTiN混合层的表面沉积AlCrSiWN表面层，得到多层纳米复合刀具。
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