[发明专利]基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法

摘要

本发明公开了一种基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，该方法包括以下步骤：试样准备；将试样放入溅射蒸碳仪中进行喷碳处理；在待测区域滴1‑2滴无水乙醇溶剂；将电镜载网放置在试样待测区域，并与试样表面贴合；将覆盖有铜网的试件放入小型离子溅射仪中进行喷铂处理；取下试样上的电镜载网，则试样上留下网格状的散斑图案。上述方法能够制备高质量微米级散斑，并具有工艺简单、成本低、效率高的特点，便于应用和推广。

主权项

1.一种基于光学和扫描电镜平台的微米级散斑制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a.试样预处理：将待测试件切割成所需要的形状，并将待测试件表面进行磨平并抛光成镜面，并将待测试件表面进行清洗、干燥，得到具有光洁表面的待测试件，完成试样预处理；当待测试件为金属样品时，对待测试件表面进行磨平并抛光时的工艺按照金相试样进行处理；b.制备碳膜：将在所述步骤a中完成试样预处理得到的待测试件放入溅射型蒸碳仪中，对待测试件的光洁表面进行喷碳处理，使待测试件的光洁表面均匀覆盖一层碳膜；c.润湿试样待测区域：在待测试件的待测区域上的碳膜表面滴加1‑2滴无水乙醇溶剂，使待测试件的待测区域润湿；d.将电镜载网放到待测试件的待测区域，并将电镜载网放到光学显微镜下观察，利用在所述步骤c中滴加乙醇溶剂，使铜网和待测试件的待测区域紧密贴合；e.将覆盖有电镜载网的待测试件放入离子溅射仪中进行喷铂处理，在待测试件的待测区域制备铂金属膜；f.将用镊子将待测试件上的电镜载网取下，则在待测试件表面留下网格状的散斑图案。