[发明专利]带有双工位旋转载片装置的光刻机有效
| 申请号： | 201910165718.9 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110045581B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 马磊;潘幼美;黄培龙;江前庆;乐晓红 | 申请（专利权）人： | 威海奥牧智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 264200 山东省威海市环翠区羊亭*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机、滑动开关、双工位旋转装置、激光器、显微镜、控制面板，双工位旋转装置由壳体、旋转工作台、滑动换位机构、第一旋转电机、电动推拉杆、第二旋转电机组成，通过负压吸附机构将载体吸附在第二载片盘上，进而利用第二旋转电机带动第二载片盘旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关控制滑动换位机构往右移动后，在让第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘上的载体，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率，该结构设计合理，并且结构简单，适于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 双工 旋转 装置 光刻 | ||
【主权项】：
1.双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机(1)、滑动开关(2)、双工位旋转装置(3)、激光器(4)、显微镜(5)、控制面板(6)，所述的光刻机(1)前端表面上设有双工位旋转装置(3)，所述的光刻机(1)和双工位旋转装置(3)活动连接，所述的双工位旋转装置(3)右端上安装有滑动开关(2)，所述的光刻机(1)表面上设有控制面板(6)，所述的双工位旋转装置(3)上方设有激光器(4)，所述的光刻机(1)和激光器(4)采用间隙配合，所述的激光器(4)顶端上安装有显微镜(5)，其特征在于：所述的双工位旋转装置(3)由壳体(301)、旋转工作台(302)、滑动换位机构(303)、第一旋转电机(304)、电动推拉杆(305)、第二旋转电机(306)组成，所述的壳体(301)表面上设有旋转工作台(302)，所述的壳体(301)和旋转工作台(302)滑动配合，所述的旋转工作台(302)底端从左到右并排设有第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)，所述的旋转工作台(302)与第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)榫连接，所述的滑动换位机构(303)设于壳体(301)内部底端，所述的滑动换位机构(303)和壳体(301)活动连接，所述的滑动换位机构(303)上安装有电动推拉杆(305)，所述的滑动换位机构(303)与第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)均采用间隙配合。
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