[发明专利]一种划片机龙门切削双刀具机构在审
| 申请号： | 201910166356.5 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109910188A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;周虎;周强;苏炳望;游政 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种划片机龙门切削双刀具机构，包括：两组砂轮组件，由刀片和空气主轴组成，用于晶圆片的切割加工，安装于划片机的机架上；金属工作盘，位于砂轮组件的下前方，用于放置工件；W轴DD马达，用于工件的角度位置调整，便于后续工序的加工；Y轴电机，用于刀具Y轴的进给；控制系统，控制双刀具的同步运动，以及工作盘的进给运动、Z轴的下降运动和W轴的旋转运动等；本发明解决了晶圆片划片加工中的加工效率较低的问题，有益于划片机的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 划片机 刀具机构 砂轮组件 工作盘 晶圆片 切削 龙门 刀具 角度位置调整 放置工件 后续工序 划片加工 加工效率 进给运动 空气主轴 控制系统 切割加工 同步运动 下降运动 刀片 进给 两组 马达 金属 加工 应用 | ||
【主权项】：
1.一种划片机龙门切削双刀具机构,其特征在于,包括:机架组件，包括金属板(2)和底座(18)，用于安装其他组件；进给组件，包括Y轴进给系统，Z轴升降系统和W轴旋转系统，用于实现刀具的Y轴进给和Z轴升降，以及工件的W轴旋转,安装于所述机架组件上；两组切割组件，用于切割工件,安装于所述进给组件上；控制系统，控制双刀具的进给、下降、切割、W轴的转动及两个刀具之间的同步运动。
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