[发明专利]测量装置在审
| 申请号： | 201910166825.3 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110243322A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 清谷进吾;小林香苗;臼井智祐;寺内达也 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛飞 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种座标测量机(CMM)(1)包括：测量工件W的探针(40)；移动体(21)，其在支撑探针(40)的同时从驱动器(32)接收驱动力时移动；位置检测部(843)，其在移动体(21)移动的同时探针(40)测量工件W时检测移动体(21)的位置；位移获取部(844)，其基于检测传感器(50)的检测结果，获取移动体(21)移动时探针(40)的位移量；以及测量值获取部(845)，其基于由位置检测部(843)检测到的移动体(21)的位置和由位移获取部(844)获取的探针(40)的位移量来获取工件W的测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 移动体 探针 位置检测部 测量工件 位移量 检测 移动 测量 座标测量机 测量装置 从驱动器 检测结果 传感器 驱动力 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，包括：测量待测物体的探针；移动体，其在支撑探针的同时从驱动源接收驱动力时移动；位置检测部，其在移动体移动的同时探针测量待测物体时检测移动体的位置；位移获取部，其基于设置在移动体中的检测传感器的检测结果，获取在移动体移动的同时由于移动体的变形而引起的探针的位移量；以及测量值获取部，其基于由位置检测部检测到的移动体的位置和由位移获取部获取的探针的位移量来获取待测物体的测量值。
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