[发明专利]一种压电微机械超声换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910167348.2 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109909140B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 杨婷婷;刘利芳;孙翔宇;邢占强;计炜梁;陈余 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L41/047;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电微机械超声换能器及其制备方法，所述换能器从下往上依次包括：衬底层、下电极层、压电薄膜层和上电极层；所述上电极层包括第一上电极和第二上电极，所述第一上电极和所述第二上电极呈环状交叉设置，形成一对叉齿电极，在使用时，被测构件放置在所述上电极层的上部，所述第一上电极上和所述下电极层之间施加有第一交流电信号，所述第二上电极和所述下电极层之间施加有第二交流电信号，通过调节所述第一交流电信号和所述第二交流电信号的相位差，即可调节压电薄膜层的振动状态，进而调节被测构件中声波的方向特征和振动模式，实现了换能器发射声波的方向特性和振动模式简易且高效地调节和控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 微机 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电微机械超声换能器，其特征在于，所述换能器包括：衬底层、下电极层、压电薄膜层和上电极层；所述下电极层设置在所述衬底层的上部、所述压电薄膜层设置在所述下电极层的上部，所述上电极层设置在所述压电薄膜层的上部；被测构件放置在所述上电极层的上部；所述上电极层包括第一上电极和第二上电极，所述第一上电极和所述第二上电极呈环状交叉设置，形成一对叉齿电极，所述第一上电极上和所述下电极层之间施加有第一交流电信号，所述第二上电极和所述下电极层之间施加有第二交流电信号，通过调节所述第一交流电信号和所述第二交流电信号的相位差，调节压电薄膜层的振动状态，进而调节被测构件中声波的方向特征和振动模式。
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