[发明专利]载舟小车冷却设备有效
| 申请号： | 201910169039.9 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109888059B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 江幺明;戴秋喜;潘加永 | 申请（专利权）人： | 苏州映真智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;F25D1/02;F25D1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载舟小车冷却设备，包括罩体和设置于所述罩体内的冷却仓，在冷却仓下方设置有底部吹风机构，在冷却仓的两侧设置有侧部冷却机构，在罩体顶部设置有多个排风口，所述底部吹风机构包括第一风机；所述侧部冷却机构包括设置于所述冷却仓两侧的水冷通道，在所述水冷通道内设置有第一冷水盘管；所述第一风机从下方向置于冷却仓内的载舟小车吹风，向上流动的气流到达罩体顶部后，部分气流通过所述排风口排出，部分气流向下折回通过所述水冷通道回流至冷却仓下方。所述载舟小车冷却设备，使硅片舟散热均匀，缩短了散热时间，降低了各硅片舟之间及硅片舟各部分的温度偏差，提高了冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 小车 冷却 设备 | ||
【主权项】：
1.一种载舟小车冷却设备，用于对载舟小车进行散热冷却，其特征在于，该冷却设备包括罩体和设置于所述罩体内的冷却仓，在冷却仓下方设置有底部吹风机构，在冷却仓的两侧设置有侧部冷却机构，在罩体顶部设置有多个排风口，其中，在所述冷却仓内设置有导轨，载舟小车通过所述导轨运行至冷却仓内；所述底部吹风机构包括第一风机；所述侧部冷却机构包括设置于所述冷却仓两侧的水冷通道，在所述水冷通道内设置有第一冷水盘管；所述第一风机从下方向置于冷却仓内的载舟小车吹风，向上流动的气流到达罩体顶部后，部分气流通过所述排风口排出，部分气流向下折回通过所述水冷通道回流至冷却仓下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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