[发明专利]一种基于关节机器人的单粒子效应测试装置及方法有效
| 申请号： | 201910171748.0 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN109917204B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 莫丹;刘杰;孙友梅;段敬来;姚会军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/303 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 谢斌 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于关节机器人的单粒子效应测试装置及方法，该装置包括试验桌，还包括：器件支架，设置在试验桌的第一侧，用于摆放测试器件；测量单元，设置在与器件支架相邻的试验桌第二侧，用于记录和测量测试器件上单个或多个待测芯片的位置信息和高度信息；辐照单元，设置在与器件支架相邻的试验桌第三侧，用于输出离子束流；关节机器人，设置在器件支架、测量单元和辐照单元包围的试验桌上，关节机器人上设有器件夹具，关节机器人通过器件夹具夹取摆放在器件支架上的测试器件，并实现测试器件的空间位置平移和转动操作。本发明能够显著地提高单粒子效应测试的准确性、稳定性和效率，而且可以节省束流时间，大幅度节省用户的试验费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 关节 机器人 粒子 效应 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于关节机器人的单粒子效应测试装置，包括试验桌(1)，其特征在于，还包括：器件支架(3)，设置在所述试验桌(1)的第一侧，用于摆放测试器件；测量单元(10)，设置在与所述器件支架(3)相邻的所述试验桌(1)第二侧，用于记录和测量所述测试器件上单个或多个待测芯片的位置信息和高度信息；辐照单元(20)，设置在与所述器件支架(3)相邻的所述试验桌(1)第三侧，用于输出离子束流；关节机器人(2)，设置在所述器件支架(3)、测量单元(10)和辐照单元(20)包围的所述试验桌(1)上，所述关节机器人(2)上设有器件夹具(6)，所述关节机器人(2)通过所述器件夹具(6)夹取摆放在所述器件支架(3)上的测试器件，并实现所述测试器件的空间位置平移和转动操作。
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