[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪

摘要

本申请提供物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪，其能够降低或防止在制造时或者因不同材料的热膨胀系数差而产生的应力应变对物理量检测信号产生不良影响。一种物理量传感器，具有基部、至少两个臂部、可动部、缩窄部以及物理量检测元件，在俯视观察下，固定区域配置于由第一直线划分而成的第一区域和第二区域，第一直线沿着横跨缩窄部的方向通过物理量检测元件的中心，并且，在俯视观察下，在由第一直线和第二直线划分而成的四个区域中，位于比第二直线更靠基部侧的第一区域的第三区域以及位于比第二直线更靠基部侧的第二区域的第四区域中的至少一方中没有配置固定区域，第二直线在缩窄部上通过且与第一直线正交。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基部；可动部，与所述基部连接；第一臂部，连结于所述基部；第二臂部，连结于所述基部；以及物理量检测元件，安装于所述基部和所述可动部，检测由在连接所述基部与所述可动部的方向上产生的应力引起的物理量，所述第一臂部配置于与连接所述基部和所述可动部的第一方向正交的第二方向上的一侧的第一区域，并且在相比基部侧更靠可动部侧设置有固定区域，所述第二臂部配置于所述第二方向上的另一侧的第二区域，并且在所述可动部侧和所述基部侧中的至少任一方的区域中设置有固定区域，在所述第一区域的位于所述基部侧的第三区域和所述第二区域的位于所述基部侧的第四区域中的至少一方中未配置有固定区域。