[发明专利]用于等离子体环境中的腔室部件的氧化钇-二氧化锆耐蚀材料在审
| 申请号： | 201910173809.7 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110240481A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | J·Y·孙;D·芬威克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C04B35/505 | 分类号： | C04B35/505;C04B35/622;C04B41/91;C04B41/80;H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于处理腔室的腔室部件包括陶瓷主体，所述陶瓷主体由烧结陶瓷材料组成，所述烧结陶瓷材料基本上由Y2O3‑ZrO2的一个或多个相组成。所述陶瓷材料基本上由55摩尔％‑65摩尔％的Y2O3和35摩尔％‑45摩尔％的ZrO2组成。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结陶瓷材料 腔室部件 陶瓷主体 等离子体环境 处理腔室 二氧化锆 耐蚀材料 陶瓷材料 氧化钇 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理腔室的腔室部件，包括：陶瓷主体，所述陶瓷主体由烧结陶瓷材料组成，所述烧结陶瓷材料基本上由Y2O3‑ZrO2的一个或多个相组成，其中所述烧结陶瓷材料基本上由55摩尔％‑65摩尔％的Y2O3和35摩尔％‑45摩尔％的ZrO2组成。
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