[发明专利]旋转式表面处理装置、用于处理槽的环状部件

摘要

提供处理液的排出时间较短并且处理效率较高的旋转式表面处理装置和用于处理槽的环状部件。通过处理槽(2)的旋转，部件(20)与电极(50)接触，而实施电镀。此时，镀覆液(16)借助泵(P)而被循环使用。在更换镀覆液(16)时等，在排出镀覆液(16)时从侧壁(80)的空隙向外部放出该镀覆液(16)。在排出时，不进行基于泵(P)的循环。形成于侧壁(80)的空隙(8)在内侧形成为比部件(20)的最小尺寸小。朝向外侧而形成为变大。因此，会迅速地进行排水。

主权项

1.一种旋转式表面处理装置，其具有：处理槽，其具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象；以及旋转机构，其使所述处理槽旋转，以使处理对象朝向所述侧壁受到离心力，该旋转式处理装置的特征在于，在所述侧壁上设置有空隙，该空隙用于使处理液受到基于所述处理槽的旋转而产生的离心力向外部排出，所述空隙在与所述处理对象接触的内侧被形成为比该处理对象的最小外形尺寸小，所述空隙在外侧被形成得较大。