[发明专利]一种真空炉负压气氛控制装置

摘要

本发明涉及一种真空炉负压气氛控制装置，它包括气流管路和控制阀，气流管路由进气管路、真空炉体、抽气管路、流量调节管路、抽真空机组和外排气体处理装置组成，控制阀包括充气截止阀、大流量截止阀、手动流量调节阀、电动流量比例阀和小流量截止阀；进气管路连接有质量流量计，再连接进气截止阀和真空炉体左侧，真空炉体上方设有炉内压力传感器，右侧主路管道依次连接大流量截止阀、手动流量调节阀和抽气管路左侧，辅路管道依次连接电动流量比例阀和小流量截止阀和抽气管路左侧，抽气管路右侧依次连接抽真空机组和外排气体处理装置；本发明的一种真空炉负压气氛控制装置，可以进行真空渗碳、氮化、淬火时气氛精确控制，并可杜绝有害气体排放。

主权项

1.一种真空炉负压气氛控制装置，其特征在于：它包括气流管路和控制阀，所述气流管路由进气管路、真空炉体、抽气管路、流量调节管路、抽真空机组和外排气体处理装置组成，所述控制阀包括充气截止阀、大流量截止阀、手动流量调节阀、电动流量比例阀和小流量截止阀；所述进气管路连接有质量流量计，再连接进气截止阀和真空炉体的左侧，所述真空炉体的上方设有炉内压力传感器，其右侧分成主路和辅路管道，其中的主路管道依次连接大流量截止阀、手动流量调节阀和抽气管路的左侧，其辅路管道依次连接电动流量比例阀和小流量截止阀后回连到抽气管路左侧，所述抽气管路右侧依次连接抽真空机组和外排气体处理装置。