[发明专利]一种籽晶铺设方法、多晶硅锭的制备方法和多晶硅锭在审
申请号: | 201910175300.6 | 申请日: | 2019-03-08 |
公开(公告)号: | CN109989108A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 徐云飞;毛伟;何亮;雷琦;周成;李建敏 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种籽晶铺设方法,提供坩埚,在所述坩埚的底部铺设多晶硅层,然后在所述多晶硅层上形成引晶层,所述多晶硅层由若干块多晶硅片拼接而成,所述多晶硅片中的晶粒生长方向与坩埚底部表面平行,所述引晶层的材质包括原生硅纯料碎块,所述多晶硅层和所述引晶层构成籽晶层。该籽晶铺设方法中使用多晶硅层和引晶层组成籽晶层,可以显著减少扩散的各种杂质,大大降低硅锭中金属杂质,显著减少制备得到的多晶硅锭尾部红区。本发明还提供了多晶硅锭的制备方法和多晶硅锭。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅层 多晶硅锭 引晶 铺设 坩埚 制备 多晶硅片 籽晶层 种籽 碎块 晶粒生长方向 底部表面 金属杂质 原生硅 纯料 硅锭 籽晶 拼接 平行 扩散 | ||
【主权项】:
1.一种籽晶铺设方法,其特征在于,包括:提供坩埚,在所述坩埚的底部铺设多晶硅层,然后在所述多晶硅层上形成引晶层,所述多晶硅层由若干块多晶硅片拼接而成,所述多晶硅片中的晶粒生长方向与坩埚底部表面平行,所述引晶层的材质包括原生硅纯料碎块,所述多晶硅层和所述引晶层构成籽晶层。
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