[发明专利]直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备在审
| 申请号： | 201910176730.X | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN111663178A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 杨敏;白喜军;李强;张亮桢 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备，所述直拉单晶用热屏装置包括：内屏，用于围绕单晶设置；外屏，同轴设置于所述内屏远离所述单晶的一侧；以及导流通道，嵌设于所述内屏与所述外屏之间，所述导流通道用于引入工作气体。本发明实施例可以提高单晶的生长速度，以及，提高单晶硅的产量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶用热屏 装置 单晶硅 生产 设备 | ||
【主权项】：
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