[发明专利]一种铁电膜宏/微观结构与电学性能联合测试系统在审
| 申请号： | 201910177839.5 | 申请日： | 2019-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN109884346A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 朱国栋 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于仪器仪表技术领域，具体为基于原子力显微镜的铁电膜宏/微观结构和电学性能联合测试系统。本发明系统包括分立设备：原子力显微镜、锁相放大器、交流信号源、直流信号源、加法电路、数据采集器、电脑；铁电膜上下表面镀有电极，构成顶电极和底电极；本发明系统可同进行测试分析内容包括：铁电膜微结构成像，宏观铁电性能测试分析，微观铁电性能测试分析，微观压电性能测试分析；本发明可用于各类铁电材料的微结构和电性能的关联性研究工作中。 | ||
| 搜索关键词： | 测试分析 铁电膜 联合测试系统 原子力显微镜 电学性能 铁电性能 微观结构 微结构 微观 仪器仪表技术 关联性研究 交流信号源 数据采集器 锁相放大器 直流信号源 分立设备 加法电路 上下表面 铁电材料 压电性能 电极 底电极 电性能 顶电极 可用 成像 宏观 电脑 | ||
【主权项】：
1.一种基于原子力显微镜的铁电膜宏/微观结构和电学性能联合测试系统，其特征在于，包括分立设备：原子力显微镜、锁相放大器、交流信号源、直流信号源、加法电路、数据采集器、电脑；铁电膜上下表面镀有电极，构成顶电极和底电极；系统可实现对铁电膜宏/微观结构、铁电和压电性能的同时原位测试分析；其中：交流信号源、直流信号源用于给铁电膜施加驱动电压；经由数据采集器对分压电阻上压降的监测，定量确定铁电膜宏观铁电性；经由原子力显微镜确定铁电膜表面微结构；经由原子力显微镜探针探测铁电膜表面在外加交流激励电压下诱导的表面振动，定量确定其微观压电性；交流激励电压诱导的表面振动信号经锁相放大器分析，获得铁电膜微观铁电性。
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