[发明专利]一种真空镀膜机有效
申请号: | 201910179575.7 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN109930128B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 南阳清水科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899 | 代理人: | 时移 |
地址: | 473000 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空镀膜机,包括底板、扩散泵和机械泵,所述底板的下端表面左右两侧均固定安装有支架,所述罩体的内部左侧设置有真空计,所述罩体的内部右侧设置有放气阀,所述罩体的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的上端外表面等间距固定连接有待镀金属,所述电动伸缩杆的内侧设置有框体,所述框体的右侧表面固定安装有电机,所述连动结构上安装连接有固定盘,所述底板的上表面右侧固定安装有储液箱。该真空镀膜机,可以通过真空计了解控制罩体内的真空状态,且有对罩体的清洗装置,镀膜效率高,而且不需要将罩体反复打开,装置的密封性较好,而且方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构设计合理。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机,包括底板(1)、扩散泵(24)和机械泵(29),其特征在于:所述底板(1)的下端表面左右两侧均固定安装有支架(2),且底板(1)的上表面通过螺栓安装连接有罩体(3),所述罩体(3)的内部左侧设置有真空计(4),且真空计(4)贯穿在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部右侧设置有放气阀(5),且放气阀(5)贯穿设置在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆(6),且电动伸缩杆(6)的顶端固定安装有蒸发电极(7),所述电动伸缩杆(6)的上端外表面等间距固定连接有待镀金属(8),且电动伸缩杆(6)的底端固定在支架(2)的内表面,所述电动伸缩杆(6)的内侧设置有框体(9),且框体(9)的上端贯穿在底板(1)的内部,所述框体(9)的右侧表面固定安装有电机(10),且电机(10)上安装连接有活动组(11),所述活动组(11)上安装连接有固定盘(12),且固定盘(12)的外表面等间距固定安装有夹持结构(13),并且夹持结构(13)的内部设置有镀件(14),所述底板(1)的上表面右侧固定安装有储液箱(15),且储液箱(15)的右端固定连接有入料口(16),所述入料口(16)的内部上端安装有第一过滤网(17),且第一过滤网(17)的下端设置有第二过滤网(18),所述储液箱(15)的后侧连接有增压泵(19),且增压泵(19)的上端连接有导流管(20),所述导流管(20)的左端安装连接有喷头(21),且喷头(21)固定在罩体(3)上端内部,所述框体(9)的后侧设置有第一连接管(22),且第一连接管(22)的上端贯穿连接在底板(1)的内部,所述第一连接管(22)的右端连接有第二连接管(23),所述扩散泵(24)固定连接在第一连接管(22)的下端,且扩散泵(24)的下端内部设置有加热丝(25),并且加热丝(25)的下端通过电性连接有加热器(26),所述加热丝(25)的右侧贯穿连接有第三连接管(27),且第三连接管(27)和第二连接管(23)的右侧均连接有第四连接管(28),所述机械泵(29)固定连接在第四连接管(28)的右端。
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