[发明专利]一种基于PEDOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法

摘要

本发明属于微流控芯片的技术领域，具体涉及一种集成PDEOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其原位制备方法；所要解决的技术问题为：提供一种兼具成本优势与性能优势的PEDOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法；解决该技术问题采用的技术方案为：芯片包括基底，基底的上层沉积有导线层，导线层内部设置有电气连接线和基片pad；导线层的上层还沉积有绝缘层，绝缘层上设置有电极窗口；绝缘层上还沉积有微电极，微电极的一端裸露在绝缘层上，微电极的另一端穿过电极窗口与导线层连接；微电极包括源极、栅极、漏极；基底、导线层、绝缘层、电极窗口、微电极共同构成基片，基片与PDMS盖片通过机械或者物理化学方法键合在一起；本发明应用于电化学晶体管的微流控芯片制备。

主权项

1.一种基于PEDOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片，其特征在于：包括基底（1），所述基底（1）的上层沉积有导线层（2），所述导线层（2）设置有电气连接线和基片pad；所述导线层（2）的上层还沉积有绝缘层（3），所述绝缘层（3）上设置有电极窗口（4）；所述绝缘层（3）上还沉积有微电极（5），所述微电极（5）的一端裸露在绝缘层（3）上，微电极（5）的另一端穿过电极窗口（4）与导线层（2）连接；所述微电极（5）包括源极（6）、栅极（7）、漏极（8）；所述基底（1）、导线层（2）、绝缘层（3）、电极窗口（4）、微电极（5）共同构成基片（20），所述基片（20）与PDMS盖片（9）通过机械或者物理化学方法键合在一起；所述PDMS盖片（9）包括进液口（10）、流体输运通道（11）、微型圆池（12）、出液口（13），所述进液口（10）位于PDMS盖片（9）一侧，所述出液口（13）位于PDMS盖片（9）的入口相对侧，所述进液口（10）、出液口（13）均通过流体输运通道（11）与微型圆池（12）相连；所述微电极（5）布置在微型圆池（12）的中央；所述微电极的源极（6）、漏极（8）与栅极（7），相互之间呈三角形设置，其中源极（6）、漏极（8）水平放置，栅极（7）竖直放置；所述源极（6）和漏极（8）之间沉积有有机半导体膜（44）。