[发明专利]一种曝光机及其焦距检测方法在审
| 申请号： | 201910183294.9 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111694221A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 冯京;栾兴龙;李付强;王志冲;刘鹏;袁广才;董学 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光机及其焦距检测方法，针对每个激光头设置有至少三个中心不在一条直线上的探测传感器，根据三点可以确定一个平面的原理，利用多个探测传感器进行焦距探测，可以确保曝光区能构成平面聚焦，从而避免曝光平面倾斜的情况出现。进而确保相邻Scan之间不会发生光学差异，避免发生Scan Mura问题。并且，设置探测传感器在进行焦距调整时，可以通过多点进行焦距确定，与现有的单点确定焦距相比，结果更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 及其 焦距 检测 方法 | ||
【主权项】：
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