[发明专利]一种超晶格极化晶体器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201910183493.X | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN109917600A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈怀熹;李广伟;张新彬;冯新凯;古克义;梁万国;黄玉宝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 张莹 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种超晶格极化晶体器件及其制备方法。该方法包括：使基质材料与衬底材料键合，形成键合晶体；对所述键合晶体的所述基质材料层进行减薄，并在其上制作周期性或准周期性的掩膜层；对所述掩膜层进行蚀刻，以形成浮雕型光栅结构；对整个器件加压，将所述浮雕型光栅结构压制进所述掩膜层中；对所述器件的端面进行抛光镀膜，获得所述超晶格极化晶体器件，所述器件用于深紫外激光的输出。该器件成本低廉、材料易得，且可以灵活设计光学超晶格的极化周期，通过倍频、和频、差频等多种光学频率转换方法，满足可调谐、宽带等不同应用需求，获得高转换效率的深紫外激光输出。 | ||
| 搜索关键词： | 极化晶体 超晶格 掩膜层 浮雕型光栅 深紫外激光 键合晶体 制备 蚀刻 高转换效率 光学超晶格 基质材料层 衬底材料 光学频率 基质材料 极化周期 抛光镀膜 器件成本 应用需求 准周期性 输出 可调谐 倍频 差频 和频 减薄 键合 宽带 加压 压制 转换 灵活 申请 制作 | ||
【主权项】：
1.一种超晶格极化晶体器件，其特征在于，所述超晶格极化晶体器件包括基质材料层和衬底材料层，其中，所述基质材料层布置在衬底材料层上，并与衬底材料层键合；所述基质材料层中包括浮雕型光栅结构。
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