[发明专利]一种分光自聚焦透镜镀膜方法及Glens透镜在审
申请号: | 201910183753.3 | 申请日: | 2019-03-12 |
公开(公告)号: | CN109856729A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 张红菊;刘政 | 申请(专利权)人: | 飞秒光电科技(西安)有限公司 |
主分类号: | G02B6/32 | 分类号: | G02B6/32;G02B3/00;G02B1/10;C23C14/30 |
代理公司: | 西安佩腾特知识产权代理事务所(普通合伙) 61226 | 代理人: | 张倩 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及分光自聚焦透镜镀膜方法及Glens透镜,包括以下方法:1)确定膜系结构:根据Glens透镜的折射率分布及技术需求,确定高折射率材料H和低折射率材料L,进而确定初步膜系结构;2)优化膜系结构:根据技术需求和初步膜系结构,利用TFC软件,计算初步膜系结构的等效折射率,对初步膜系结构进行优化,得到优化膜系结构;3)根据优化的膜系结构采用IAD离子束辅助沉积法在Glens透镜的出光面上镀膜。本发明解决了现有的分光膜镀膜方式所存在的问题,本发明为Glens透镜提供了一种镀膜方法,工艺简单,稳定性高。 | ||
搜索关键词: | 膜系结构 透镜 镀膜 自聚焦透镜 技术需求 优化 分光 离子束辅助沉积法 低折射率材料 高折射率材料 等效折射率 折射率分布 镀膜方式 分光膜 | ||
【主权项】:
1.一种分光自聚焦Glens透镜镀膜方法,其特征在于,包括以下方法:1)确定膜系结构:根据Glens透镜的折射率分布及技术需求,确定高折射率材料H和低折射率材料L,进而确定初步膜系结构;2)优化膜系结构:根据技术需求和初步膜系结构,利用TFC软件,计算初步膜系结构的等效折射率,对初步膜系结构进行优化,得到优化膜系结构;3)根据优化的膜系结构采用IAD离子束辅助沉积法在Glens透镜的出光面上镀膜。
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