[发明专利]溅射靶材及其使用方法在审
| 申请号： | 201910183904.5 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110684950A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 | 申请（专利权）人： | 住华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 溅射靶材及其使用方法。溅射靶材包括背板、溅射板与保护单元。背板具有上表面。溅射板设置在上表面上，并具有一溅射板边缘。保护单元设置在上表面上，并相邻溅射板边缘。本发明技术方案通过保护单元、中间保护单元共同防止背板在溅射工艺中被溅射消耗而损坏的问题产生，以进一步延长背板的使用寿命，因此可降低制造成本，且更换保护单元等的方法简单、快速，可提升工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 保护单元 溅射板 背板 上表面 溅射靶材 溅射 工艺效率 使用寿命 制造成本 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材，其特征在于，该溅射靶材包括：/n一背板，具有一上表面；/n一溅射板，设置在该上表面上，并具有一溅射板边缘；/n一保护单元，设置在该上表面上，并相邻该溅射板边缘。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住华科技股份有限公司，未经住华科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910183904.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：薄膜蒸镀装置
- 下一篇：背板、使用其的溅射靶材及其使用方法
- 同类专利
- 专利分类
